聚焦半导体赛道，展示电子级气体硬实力

随着中国进入“电子气体2.0时代”，电子气体已成为半导体制造中仅次于硅的第二大原材料。在芯片制造的PECVD（等离子体增强化学气相沉积）、干法蚀刻以及第三代半导体碳化硅外延生长等关键工艺中，气体的纯度直接决定了芯片的良率与性能。

在本次展会上，西冷化工重点展示了其应用于半导体领域的核心产品矩阵：

6N级高纯丙烷（≥99.9999%） 是本次展出的明星产品。在半导体制造中，高纯丙烷在等离子体增强化学气相沉积工艺中作为前驱体，用于形成高质量薄膜层；在干法蚀刻中精确去除半导体表面材料；在碳化硅外延生长中作为关键碳源。丙烷特气对纯度要求极为苛刻——任何微量杂质都可能导致器件性能下降或良率降低。

高纯乙烷（≥99.9%-99.99%） 在半导体制造领域同样扮演着关键角色，作为化学气相沉积的核心碳源，用于沉积碳化硅等关键薄膜，支撑先进制程工艺。此外，高纯乙烷还可作为超低温环保制冷剂R170，替代传统氟利昂用于超低温冷冻设备。

高纯异丁烷（≥99.99%） 正在电子和医药领域开辟全新应用场景。在半导体制造中，高纯异丁烷用作EUV光刻系统的载气，对晶圆上复杂电路的图案化至关重要；同时应用于扇出晶圆级封装（FOWLP）和系统级封装（SiP），提升器件性能与可靠性。

品质对标国际，助力电子特气国产化

在展会交流中，西冷化工团队向专业观众展示了公司从原料进厂到成品出库的全流程质控体系。公司已建成多套高纯气体充装系统及提纯系统，配置先进的生产、纯化、分析设备，可充装生产多种5N高纯气体、6N超纯气体。专业的分析人员对每瓶出厂的气体严格把关，保证各类气瓶处于安全规范的有效状态。

“在半导体制造的超精密世界里，气体纯度直接决定芯片的良率与性能。我们依托先进精馏提纯系统，配合‘精馏+加氢+吸附’复合工艺，确保水分控制在3-5ppm以下、烯烃等杂质降至ppb级，满足半导体、电子等高端领域的严苛要求。”西冷化工技术人员在展台现场向客户介绍道。

对于追求卓越的半导体制造企业而言，选择一家工艺可靠、品质稳定、服务专业的高纯气体供应商，不仅是保障产线稳定运行的需要，更是提升产品竞争力的战略选择。西冷化工正以此为目标，致力于成为中国半导体产业链上可靠的一环。

深化行业交流，拓展气体“芯”生态

展会期间，位于A-099展位的西冷化工展台吸引了大量来自半导体制造、电子特气、科研院所等领域的专业观众。公司团队与国内外客户就高纯丙烷在碳化硅外延中的应用、高纯异丁烷在EUV光刻中的载气需求、高纯乙烷在CVD工艺中的技术参数等话题进行了深入交流。

值得一提的是，本届气博会还特别设置了“气体文史荟萃”展区，通过实物、文史资料等系统介绍气体的发现、工业气体行业的诞生与发展历程。作为深耕碳氢气体领域十余年的企业，西冷化工对气体工业的发展有着深刻理解与情怀，积极参与行业交流，与同行共同推动中国气体工业迈向高质量发展新阶段。

展望未来，持续赋能“芯”材料国产化

当前，我国工业气体行业正迎来快速发展期。随着半导体集成电路的快速发展，电子气体作为第二大原材料，市场需求持续攀升。西冷化工依托其在烷烃、烯烃提纯领域十余年的技术积淀，以及严格遵循ISO9001质量管理体系的生产流程，正加速布局电子特气赛道。

公司产品已广泛应用于半导体、光伏、新能源、医药中间体、科研实验室等高端领域，客户辐射欧洲、美洲、中东及东南亚地区。本次参展2024中国国际气体工业博览会，是西冷化工向电子特气领域纵深发展的重要里程碑。

为期三天的2024中国国际气体工业博览会已圆满落幕，但西冷化工前进的脚步从未停歇。西冷化工衷心感谢展会期间莅临A-099展位的每一位新老朋友，西冷化工将以此为新起点，持续深耕高纯气体领域，与广大客户携手并进，共同把握中国气体工业发展的新机遇，为推动行业高质量发展贡献力量！