四氟化碳 R14

四氟化碳又称四氟甲烷、氟利昂14

Carbon tetrafluoride R14

CAS 号：75-73-0

分子式：CF4

物理性质 PHYSICAL PROPERTIES

熔点

-183.6℃

沸点

-128.1℃

液体密度

（-130℃）1.613g/cm3

临界温度 ℃

-45.67℃

临界压力 MPa

3.73MPa

临界密度

7.1dm3/mol

在常温下，四氟化碳是无色、无臭、易压缩性气体，具有很高的稳定性，仅在碳弧温度下缓慢分解，微溶于水。属于完全不燃性气体。

应用范围 APPLICATION SCOPE

四氟化碳可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、航天技术、金属冶炼、气相绝缘、低温制冷等诸多方面大量使用。另外，近期研究发现，四氟化碳的溶氧性很好，可用于超深度潜水代替压缩空气，目前该试验已获得成功。

质量指标 QUALITY STANDARD

CF4， ％（V/V）≥

99.999

99.995

99.99

N2， 10-6(V/V) ≤

4

20

40

O2， 10-6(V/V) ≤

1

5

10

CO2， 10-6(V/V) ≤

1

5

10

CO， 10-6(V/V) ≤

0.3

0.5

1

SF6， 10-6(V/V) ≤

1

1

5

H2O， 10-6(V/V) ≤

1

5

10

HF， 10-6(V/V) ≤

0.1

0.3

0.3

TFC(CH2F2、CHF3、C2F3、C3F8)，10-6(V/V) ≤

1

10

30

总杂质含量 ppm (V/V) ≤

10

50

100

包装规格 PACKING

产品采用钢质无缝气瓶多种规格系列化包装，满足不同用户需求

钢瓶规格

DOT/48.8 L

DOT/47L

40L

10L

4L

瓶阀型号

CGA580（正丝）  CGA590（反丝）  CGA320  DISS716