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四氟化碳R14


作者:菏泽西冷化工有限公司 发布时间:2018-1-15 本文被阅读 1062 次

40L钢瓶.jpg


产品名称 PRODUCT NAME

四氟化碳 R14

四氟化碳又称四氟甲烷、氟利昂14

Carbon tetrafluoride R14

CAS 号:75-73-0

分子式:CF4

 

物理性质 PHYSICAL PROPERTIES

熔点

-183.6℃

沸点

-128.1℃

液体密度

(-130℃)1.613g/cm3

临界温度 ℃

-45.67℃

临界压力 MPa

3.73MPa

临界密度

7.1dm3/mol

在常温下,四氟化碳是无色、无臭、易压缩性气体,具有很高的稳定性,仅在碳弧温度下缓慢分解,微溶于水。属于完全不燃性气体。

 

应用范围 APPLICATION SCOPE

四氟化碳可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、航天技术、金属冶炼、气相绝缘、低温制冷等诸多方面大量使用。另外,近期研究发现,四氟化碳的溶氧性很好,可用于超深度潜水代替压缩空气,目前该试验已获得成功。

 

质量指标 QUALITY STANDARD

CF4, %(V/V)≥

99.999

99.995

99.99

N2, 10-6(V/V) ≤

4

20

40

O2, 10-6(V/V) ≤

1

5

10

CO2, 10-6(V/V) ≤

1

5

10

CO, 10-6(V/V) ≤

0.3

0.5

1

SF6, 10-6(V/V) ≤

1

1

5

H2O, 10-6(V/V) ≤

1

5

10

HF, 10-6(V/V) ≤

0.1

0.3

0.3

TFC(CH2F2、CHF3、C2F3、C3F8),10-6(V/V) ≤

1

10

30

总杂质含量 ppm (V/V) ≤

10

50

100

 

包装规格 PACKING

产品采用钢质无缝气瓶多种规格系列化包装,满足不同用户需求

钢瓶规格

DOT/48.8 L

DOT/47L

40L

10L

4L

瓶阀型号

CGA580(正丝)  CGA590(反丝)  CGA320  DISS716

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